Tính năng sản phẩm
Hộp đa tạp van VMB VIGOR là một hệ thống phân phối khí và điều khiển mô-đun được thiết kế đặc biệt cho các khí trơ cấp điện tử có độ tinh khiết cao (như CF₄, SF₆, AR, HE, v.v.). Bằng cách tích hợp nhiều van, giám sát thông minh và lắp ráp cấp phòng sạch, nó đảm bảo độ tinh khiết, ổn định và an toàn trong quá trình phân phối. Nó được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn, sản xuất năng lượng quang điện, phòng thí nghiệm nghiên cứu và các lĩnh vực khác cần quản lý khí chính xác.
Thông số kỹ thuật
| Loại | Chi tiết tham số |
|---|---|
| Người mẫu: | Hộp đa tạp Vmb Valve |
| Khí áp dụng: | Khí trơ (CF₄, SF₆, CHF₃, AR, HE, v.v.) |
| Chế độ cung cấp khí: | Cấu hình xi-lanh đơn / xi-lanh kép tùy chọn |
| Nguồn điện: | 110 ~ 240V AC |
| Vật liệu: | Van và các thành phần ống: SS 316L |
| Cấp độ bảo vệ: | Thiết kế chống ăn mòn, tuân thủ S2 |
Các chức năng và tính năng cốt lõi
Phân phối khí hiệu quả
1)Hỗ trợ cấu hình xi-lanh đơn hoặc xi-lanh kép với chuyển đổi tự động tùy chọn để cung cấp khí liên tục, không bị gián đoạn.
2) Thiết kế đa van tích hợp để đáp ứng linh hoạt các nhu cầu phân phối khí phức tạp.
Độ sạch và niêm phong cao
1)Van và ống được làm bằng vật liệu SS 316L; Toàn bộ hệ thống được lắp ráp trong phòng sạch lớp 100 để ngăn ngừa ô nhiễm hạt.
2) Tiêu chuẩn phát hiện rò rỉ helium: Tốc độ rò rỉ nhỏ hơn hoặc bằng 1 × 10⁻⁸ mbar · l/s, đáp ứng các yêu cầu niêm phong cực cao.
Kiểm soát thông minh
1)Hệ thống điều khiển PLC tùy chọn, hỗ trợ giao diện truyền thông Modbus để tích hợp vào các nền tảng giám sát thông minh, cho phép hoạt động từ xa và quản lý dữ liệu.
2) Hiển thị màn hình cảm ứng để theo dõi thời gian thực về áp suất xi lanh, tốc độ dòng khí và trạng thái báo động với giao diện người dùng trực quan.
Nhiều biện pháp bảo vệ an toàn
1)Áp suất cao/thấp có thể nghe thấy báo động trực quan và tự động kích hoạt ngắt khí khẩn cấp.
2) Các chức năng thông gió và thanh lọc tùy chọn, được tích hợp với một thiết bị giảm an toàn để ngăn chặn áp lực hệ thống.
3) Tuân thủ các tiêu chuẩn bán S2 và mã an toàn hỏa hoạn quốc tế, với áp suất làm việc tối đa lên tới 110% áp suất thử nghiệm.
Ứng dụng
1)Sản xuất bán dẫn:Phân phối chính xác các khí trơ tinh khiết cao cho các quá trình khắc và lắng đọng wafer.
2)Công nghiệp quang điện:Cung cấp ổn định các khí đặc biệt (như SF₆) cho sản xuất bảng điều khiển năng lượng mặt trời.
3)Phòng thí nghiệm nghiên cứu:Kiểm soát tập trung và quản lý các thí nghiệm khí đa kênh.
4)Công nghiệp dược phẩm sinh học:Truyền và phân phối an toàn của khí trơ trong môi trường vô trùng.
Bản vẽ
Bán tự động
Hệ thống này bao gồm các chức năng tắt và thanh lọc tự động, với dòng chính 3/8 "và các dòng nhánh 1/4" (1 đầu vào, 4 ổ cắm). Nó có tính năng điều khiển PLC, giao diện màn hình cảm ứng {7}} inch và quy định áp suất đường nhánh. Ngoài ra, hệ thống được trang bị hệ thống sưởi bề mặt bảng điều khiển để tăng cường hiệu suất.
Mannul
Hệ thống này bao gồm các chức năng thanh lọc khí và cung cấp khí thủ công, với dòng chính 3/8 "và các đường nhánh 1/4" (1 đầu vào, 4 cửa hàng). Nó có quy định áp lực dòng nhánh để kiểm soát tối ưu.
Câu hỏi thường gặp
Q1: Làm thế nào để hệ thống chuyển đổi giữa các cấu hình xi-lanh đơn và kép?
Trả lời: Cấu hình xi-lanh kép hỗ trợ chuyển đổi tự động (yêu cầu mô-đun PLC). Khi áp suất của xi lanh chính giảm, hệ thống sẽ tự động chuyển sang xi lanh sao lưu để đảm bảo cung cấp liên tục.
Câu 2: Rò rỉ khí được phát hiện như thế nào?
A: Tính toàn vẹn của hệ thống được xác minh thông qua phát hiện rò rỉ phổ khối helium. Giám sát hàng ngày có thể được thực hiện thông qua các xu hướng áp lực bất thường hoặc lời nhắc báo động được hiển thị trên màn hình cảm ứng.
Câu 3: Dữ liệu lịch sử xuất khẩu màn hình cảm ứng có thể không?
Trả lời: Màn hình cảm ứng tiêu chuẩn hỗ trợ hiển thị dữ liệu thời gian thực. Nếu được trang bị mô -đun PLC, dữ liệu có thể được xuất ở định dạng CSV thông qua giao diện USB hoặc giao thức giao tiếp (như Modbus).
Q4: Chu kỳ bảo trì được đề xuất là gì?
Trả lời: Nên kiểm tra việc niêm phong van và rò rỉ mỗi sáu tháng và hiệu chỉnh các cảm biến áp suất hàng năm. Trong môi trường sử dụng tần số cao, việc kiểm tra nên được thực hiện ba tháng một lần.
Câu 5: Hệ thống có hỗ trợ khí ăn mòn không?
A: Mô hình này được thiết kế cho khí trơ. Nếu khí ăn mòn (ví dụ, HCL) cần được xử lý, tùy chỉnh với vật liệu thép không gỉ song công và con dấu đặc biệt là bắt buộc. Vui lòng liên hệ với hỗ trợ kỹ thuật để biết chi tiết.
Q6: Điều gì nên được xem xét trong quá trình cài đặt?
Trả lời: Đảm bảo môi trường lắp đặt sạch và không rung, kết nối nguồn dự trữ và ống xả và đảm bảo diện tích xi lanh khí đáp ứng yêu cầu chịu tải (lớn hơn hoặc bằng 500kg/m2).
Phần kết luận
VIGOR VMB Valve Manifold Box (VMB) cung cấp các giải pháp đáng tin cậy để quản lý khí có độ tinh khiết cao thông qua kiểm soát chính xác và các tiêu chuẩn an toàn nghiêm ngặt. Đối với cấu hình tùy chỉnh hoặc thông số kỹ thuật chi tiết, vui lòng liên hệ với nhóm Dịch vụ Vigor chính thức.
Chú phổ biến: Vigor Special VMB Valve Manifold Box, China Vigor Special VMB Valve Boxer Sản xuất hộp, nhà cung cấp
