Bộ điều chỉnh áp suất khí giai đoạn VSR 50UB
----- Chúng tôi cung cấp các giải pháp liên quan đến ý tưởng của bạn
Sản phẩm phù hợp để kiểm soát khí khối và khí đặc biệt trong các hệ thống cung cấp khí tinh khiết cực cao trong ngành công nghiệp bán dẫn .}
Quy định áp suất, với phạm vi biến động nhỏ của áp suất đầu ra (trong phạm vi ± 1%), đáp ứng nhu cầu của các kịch bản rất nhạy cảm như sản xuất chất bán dẫn và phòng thí nghiệm .}
Tính năng sản phẩm
-
Bộ điều chỉnh áp suất một giai đoạn
-
10uin . RA hoàn thiện bề mặt (25Uin . RA tùy chọn) Khối lượng nội bộ được tối thiểu hóa cho thời gian thanh lọc ngắn .
-
Tất cả các tài liệu được sử dụng đáp ứng ASTM A479 /A484 /A276 tiêu chuẩn .
-
Sản phẩm được chế tạo tuân thủ đặc tả quy trình VS001B .
-
Đầu nối bên trong đồng hồ đo áp suất
-
Khả năng lưu lượng: đến 15 SLPM (tiêu chuẩn), đến 30 SLPM (tùy chọn)
-
100% helium-leak-Tested
Liên kết sản phẩm: http: // www . Vigourco . com/sản phẩm _ thông tin _27. html
