Đối với cùng một đoạn ống thép không gỉ 316L, giá có thể thay đổi nhiều lần. Bí mật không nằm ở độ dày của tường mà nằm ở bề mặt bên trong. Độ tinh khiết của khí yêu cầu càng cao thì yêu cầu đặt ra đối với "lớp da" bên trong của ống càng khắt khe. Ba ký hiệu AP, BA và EP đại diện cho ba tiêu chuẩn phân loại do ngành xác định đối với bề mặt bên trong của ống.
▌Lớp 1: AP - Lớp gia công cơ khí cơ bản
Ống AP (Tẩy axit) trải qua quá trình tẩy axit để loại bỏ cặn bề mặt và chất gây ô nhiễm, dẫn đến bề mặt bên trong tương đối thô. Nó được thiết kế cho đường ống dẫn khí công nghiệp có mục đích chung. Ưu điểm của nó là chi phí thấp và thời gian thực hiện ngắn, thích hợp cho các ứng dụng có yêu cầu về hạt rời và tạp chất, chẳng hạn như dây chuyền lọc khí và nitơ thông thường.
▌Cấp 2: BA - Cấp được ủ sáng có độ tinh khiết cao
Ống BA (Ủ sáng) được ủ trong môi trường khí hydro hoặc chân không để tạo thành một lớp màng thụ động dày đặc trên bề mặt của nó, đạt được độ nhám bề mặt bên trong Ra＜0,4 μm. So với ống AP, ống BA mang lại bề mặt mịn hơn, khả năng chống ăn mòn vượt trội và giảm đáng kể sự hấp phụ của các hạt và độ ẩm. Nó được áp dụng rộng rãi để vận chuyển khí có độ tinh khiết cao.
▌Cấp 3: EP - Cấp được đánh bóng bằng điện cao cấp
Ống EP (Đánh bóng điện) được đánh bóng thêm bằng điện trên cơ sở xử lý BA. Với ống làm cực dương, các đỉnh bề mặt được hòa tan trong chất điện phân để làm phẳng bề mặt bên trong, mang lại độ nhám 5‑10 μin Ra (khoảng. 0.13‑0,25 μm). Đánh bóng bằng điện mang lại bề mặt bên trong mịn như gương, loại bỏ các hạt kim loại còn sót lại và ô nhiễm do quá trình gây ra, đồng thời tạo ra lớp thụ động giàu crom - một yêu cầu bắt buộc đối với ống sử dụng trong hệ thống khí có độ tinh khiết cực cao bán dẫn.
VIGOR - Tại sao EP là bắt buộc đối với chất bán dẫn
Trong sản xuất tấm bán dẫn, ngay cả các hạt kim loại nhỏ hoặc phân tử hơi ẩm thoát ra từ thành ống cũng có thể gây ra các khuyết tật của tấm bán dẫn. Bề mặt gồ ghề hoạt động giống như một miếng bọt biển giữ bụi bẩn: nó hấp thụ độ ẩm và tạp chất, sau đó chúng sẽ từ từ được giải phóng theo thời gian. Ngược lại, bề mặt EP mịn, dày đặc không cho phép các hạt và hơi ẩm bám vào, đồng thời cắt giảm đáng kể thời gian chu kỳ thanh lọc và trao đổi. Ống EP tạo thành hàng rào vật lý đầu tiên bảo vệ độ tinh khiết cho việc phân phối khí có độ tinh khiết cực cao.
So sánh ba cấp độ và các sản phẩm VIGOR tương ứng
| Cấp | Quá trình | Độ nhám bề mặt | Ứng dụng điển hình | VIGOR tương đương |
|---|---|---|---|---|
| Lớp AP | Ngâm axit & thụ động | Tương đối thô | Đường ống dẫn khí công nghiệp tổng hợp | Dòng VTUBE (Lớp AP) |
| Lớp Cử nhân | Ủ sáng | Ra < 0,4 mm | Khí có độ tinh khiết cao, hóa chất điện tử | Dòng VTUBE (Cấp BA) |
| Lớp EP | Đánh bóng điện | 5–10 μin. | Mạch khí bán dẫn có độ tinh khiết cực cao | Dòng VTUBE (Cấp EP), Sản phẩm có độ tinh khiết cực cao VUPS |
Điều đáng chú ý là cấp vật liệu và xử lý bề mặt là các thông số kỹ thuật tích lũy. Dòng sản phẩm có độ tinh khiết cực cao VIGOR VUPS: mẫu UB sử dụng chất nền 316L tiêu chuẩn với độ hoàn thiện bề mặt 10/25 μin Ra; mẫu UC được nâng cấp lên chất nền 316L nấu lại với độ hoàn thiện bề mặt 5/7/10 μin Ra. Cả độ tinh khiết của vật liệu và độ mịn bề mặt đều được nâng cao để tối ưu hóa hiệu suất bề mặt bên trong. Khi chọn ống, cần cân nhắc một câu hỏi quan trọng: loại "lớp da" bề mặt bên trong nào phù hợp với yêu cầu về độ tinh khiết khí của bạn?
