Độ tinh khiết của khí quan trọng như thế nào trong sản xuất chất bán dẫn?
Sự đồng thuận chung trong sản xuất chất bán dẫn
Sự đồng thuận-được thiết lập tốt sẽ chiếm ưu thế trong sản xuất chất bán dẫn: giới hạn trên của hiệu suất chip được xác định theo thiết kế, trong khi giới hạn dưới của năng suất sản xuất phụ thuộc vào độ tinh khiết của vật liệu.
Hình ảnh có nguồn gốc từ internet.
Danh sách khí đầy đủ đằng sau một con chip
Từ làm sạch tấm bán dẫn và lắng đọng màng mỏng-đến khắc axit và pha tạp, quy trình sản xuất một tấm bán dẫn 12-inch duy nhất bao gồm hơn 30 loại khí xử lý, bao gồm silan, amoniac, nitơ triflorua, vonfram hexafluorua, hydro clorua, v.v. Mọi khí phải được đưa vào buồng phản ứng ở độ tinh khiết cực cao.
Các tạp chất dạng vết ở mức ppb (độ ẩm, oxy, chất dạng hạt) xâm nhập vào đường ống khí có thể gây ra các khuyết tật màng mỏng và ô nhiễm bề mặt, trực tiếp làm giảm năng suất sản xuất. Lấy quy trình 3nm làm ví dụ, mỗi con chip riêng lẻ có giá hàng trăm đô la Mỹ; chỉ cần biến động lợi suất 1% cũng đủ để xóa đi khoản lợi nhuận trị giá hàng chục triệu.
Tại sao “Độ tinh khiết cao” là chưa đủ?
Trong ngành bán dẫn, "độ tinh khiết cao" không có nghĩa là "sẵn sàng xử lý". Thách thức thực sự nằm ở việc duy trì độ tinh khiết - duy trì khí không bị ô nhiễm-trong toàn bộ đường dẫn phân phối từ nguồn khí đến điểm sử dụng (POU).
Ba biện pháp bảo vệ cốt lõi hoạt động song song để đạt được điều này:
(1) Lựa chọn vật liệu: Thân ống và van được sản xuất từ thép không gỉ 316L được nấu chảy lại VIM+VAR để giảm thiểu sự thoát khí nguyên tố từ vật liệu cơ bản.
(2) Hoàn thiện bề mặt: Độ nhám bề mặt bên trong Ra Nhỏ hơn hoặc bằng 0,25 μm (10 μin.) bằng phương pháp xử lý đánh bóng bằng điện (EP) để giảm độ bám dính của các hạt và khả năng hấp phụ độ ẩm.
(3) Tính toàn vẹn của niêm phong kín: Tốc độ rò rỉ heli Nhỏ hơn hoặc bằng 1×10⁻⁹ atm·cc/giây để ngăn chặn hoàn toàn sự xâm nhập của ô nhiễm bên ngoài.
Giải pháp phân phối khí bán dẫn
VIGOR VUPS Ultra-Dòng sản phẩm có độ tinh khiết cao bao gồm toàn bộ chuỗi phân phối khí tuân thủ các tiêu chuẩn SEMI, bao gồm cả phụ kiện bịt kín-mặt kim loại VCR, van màng-có độ tinh khiết cao và hai-bộ điều chỉnh áp suất giai đoạn.
Tất cả các sản phẩm đều được lắp ráp, kiểm tra và đóng gói-túi đôi chân không{1}}trong phòng sạch Cấp 100 trước khi vận chuyển. Những gì khách hàng nhận được không chỉ là các van riêng lẻ mà còn là một hệ thống đảm bảo độ tinh khiết cực cao-}-cắm-hoàn chỉnh.
Các sản phẩm VIGOR đã hoạt động đáng tin cậy trong các hệ thống phân phối khí đặc biệt và đường ống cung cấp khí CVD/PVD tại nhiều nhà máy sản xuất tấm bán dẫn, tương thích với các loại khí xử lý quan trọng như silane, nitơ trifluoride và boron trichloride.
Sản xuất chất bán dẫn là một cuộc chạy đua bất tận chống lại các chất gây ô nhiễm - và sứ mệnh của VIGOUR là đảm bảo vạch xuất phát sạch nhất có thể cho cuộc đua này.
