Chuyển phát nhanh sản phẩm VIGOR|Công tắc dòng chảy dòng VEFS2

Được thúc đẩy bởi trí tuệ nhân tạo, điện toán hiệu suất cao (HPC), điện tử ô tô và các ứng dụng Internet of Things, ngành bán dẫn đang trải qua quá trình chuyển đổi nhanh chóng. Tuy nhiên, sự tăng trưởng đáng chú ý này cũng đặt ra những thách thức mới trong hoạt động. Khi quy mô sản xuất mở rộng với tốc độ chưa từng thấy, các loại khí đặc biệt có nguy cơ cao như silane và phosphine được sử dụng rộng rãi trong các nhà máy bán dẫn. Bất kỳ sự rò rỉ khí không được kiểm soát nào do vỡ đường ống, khớp nối lỏng lẻo, hỏng gioăng hoặc lắp đặt không đúng cách đều có thể nhanh chóng dẫn đến sự cố an toàn nghiêm trọng, đe dọa sự an toàn của nhân viên, làm hỏng thiết bị sản xuất quan trọng và gây ra thời gian ngừng hoạt động ngoài dự kiến ​​tốn kém. Trong bối cảnh đó, Công tắc dòng khí dư (EFS) của VIGOUR, với thiết kế truyền động cơ học thuần túy và khả năng tương thích với độ tinh khiết cực cao (UHP) đặc biệt, đã trở thành biện pháp bảo vệ an toàn không thể thiếu cho các hệ thống cung cấp khí đặc biệt, bao gồm Tủ gas và VMB, trong các dây chuyền sản xuất chất bán dẫn trên toàn thế giới.

Nguyên tắc thiết kế cốt lõi của VIGOR EFS là phát hiện các điều kiện dòng chảy bất thường và phản hồi một cách đáng tin cậy. Khi sự cố đường ống hạ lưu dẫn đến dòng chảy đột ngột và quá mức vượt quá-điểm dừng quan trọng đã đặt trước, thiết bị sẽ ngay lập tức kích hoạt tín hiệu phản hồi. Tín hiệu này được truyền qua việc mở hoặc đóng các tiếp điểm điện trong-công tắc sậy tích hợp, sau đó được đồng bộ hóa và gửi đến hệ thống SCADA hoặc Hệ thống giám sát khí (GMS). Bằng cách cung cấp-cảnh báo theo thời gian thực và cho phép phản hồi tự động nhanh chóng, nó hỗ trợ quản lý an toàn chủ động, giảm thiểu các mối nguy tiềm ẩn một cách hiệu quả và tăng cường độ tin cậy tổng thể của mạng lưới phân phối khí đốt.

Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, mọi bộ phận trong hệ thống khí đều có thể trở thành nguồn ô nhiễm tiềm ẩn. Ngay cả các hạt nhỏ, tạp chất kim loại hoặc sự hấp phụ bề mặt cũng có thể ảnh hưởng đến chất lượng tấm bán dẫn và làm giảm năng suất sản xuất. Do đó, VIGOR tuân thủ nghiêm ngặt các tiêu chuẩn nghiêm ngặt của ngành bán dẫn để đảm bảo độ tinh khiết của vật liệu, độ sạch bề mặt và độ ổn định khi vận hành.

Về tiêu chuẩn vật liệu, VIGOR sử dụng độc quyền thép không gỉ 316L được sản xuất thông qua công nghệ nấu chảy kép VIM/VAR. Quá trình luyện kim tiên tiến này làm giảm đáng kể tạp chất kim loại và tạp chất còn sót lại, đảm bảo khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và giảm thiểu nguy cơ ô nhiễm khí. Để xử lý bề mặt, tất cả các sản phẩm đều trải qua quá trình đánh bóng điện hóa tiên tiến (EP), duy trì độ nhám bề mặt bên trong từ 5–10 μin. Phần bên trong mịn màng, sạch sẽ như vậy sẽ ngăn chặn các phân tử khí hấp thụ vào các thành bên trong và loại bỏ sự kết tủa của các hạt, hỗ trợ quá trình phân phối khí ổn định và{7}}không bị nhiễm bẩn.

Hơn nữa, VIGOR EFS cung cấp nhiều lựa chọn về các điểm ngắt quan trọng và các tùy chọn cấu hình linh hoạt để phù hợp với các tình huống ứng dụng đa dạng. Thông qua việc khớp tham số đơn giản, người dùng có thể dễ dàng xác định mô hình chính xác dựa trên các loại khí cụ thể, điều kiện áp suất vận hành và tốc độ dòng chảy tối đa cho phép. Mức độ tùy chỉnh cao này đảm bảo khả năng bảo vệ-dòng chảy chính xác và đáng tin cậy cho nhiều ứng dụng khí có độ tinh khiết cực cao-cao{4}} khác nhau trong chế tạo chất bán dẫn hiện đại.

  Công tắc dòng chảy cho các ứng dụng dòng chảy cao

 Có sẵn với đường chính ngang hoặc dọc

 Giảm áp suất tối thiểu qua thiết bị

 Thép không gỉ SS 316L