INTEGRATED GAS SYSTEM>>Chia sẻ dòng sản phẩm IGS
VIGOR cung cấp Hệ thống khí tích hợp (IGS) tiên tiến được thiết kế đặc biệt để kiểm soát khí có độ tinh khiết cao trong ngành sản xuất chất bán dẫn. Các giải pháp của chúng tôi kết hợp kỹ thuật tiên tiến với các tiêu chuẩn sản xuất nghiêm ngặt để đảm bảo độ tin cậy, độ gọn nhẹ và hiệu suất vượt trội trong các ứng dụng quan trọng.
Tính năng sản phẩm
- Dùng để kiểm soát khí trong ngành bán dẫn
- Thiết kế mô-đun
- Tất cả các thành phần được gắn trên bề mặt theo tiêu chuẩn SEMl
- Kích thước bằng khoảng 1/3 bảng truyền thống
- Vật liệu tiêu chuẩn SEMl, quy trình đánh bóng điện hóa và hàn quỹ đạo
- Wseal và C{0}}seal tùy chọn
- Đóng gói đôi trong phòng sạch
- Tất cả các sản phẩm, ngoại trừ "khung", đều được sản xuất theo quy trình kỹ thuật VS001A
Bộ điều chỉnh áp suất IGS Dòng VIR
1. Tối đa. Áp suất làm việc: 150 psig
2. Tối đa. Nhiệt độ làm việc: -40 độ F~140 độ F(-40 độ ~60 độ)
3. Áp suất đầu ra: 0 ~ 100 psig
4. Bề mặt hoàn thiện: Max{1}}uin. Ra
5. Chất liệu: 316L VIM-VAR
6. Ghế van: PCTFE (tùy chọn PFA / Vespel)
7. Công suất dòng chảy: Cv=0.08
Van màng IGS dòng VID
1. Tối đa. Áp suất làm việc: 150 psig
2. Tối đa. Nhiệt độ làm việc: PCTFE 14 độ F~176 độ F(-10 độ ~80 độ); PFA 14 độ F~302 độ F(-10 độ ~150 độ)
3. Không có thiết kế ngõ cụt
4. Bề mặt ướt được xử lý bằng EP, Max{1}}uin. Ra.
5. Chất liệu: 316L VIM-VAR
Đã kiểm tra 6. 100% rò rỉ khí Heli-rò rỉ-
7. Công suất dòng chảy: Cv=0.1
Van điều khiển lưu lượng IGS Dòng VIM
1. Tối đa. Áp suất làm việc: 150 psig
2. Tối đa. Nhiệt độ làm việc: 14 độ F~302 độ F(-10 độ ~150 độ)
3. Niêm phong: FKM
4. Bề mặt ướt được xử lý bằng EP, Max{1}}uin. Ra
5. Công suất dòng chảy: Cv=0.03
Van kiểm tra IGS Dòng VICV
1. Tối đa. Áp suất làm việc: 150 psig
2. Tối đa. Nhiệt độ làm việc: 14 độ F ~ 176 độ F (-10 độ ~ 80 độ)
3. Bề mặt hoàn thiện: Max. 5uin. Ra
4. Áp suất nứt: 0,33 psig
5. Công suất dòng chảy: Cv=0.2
Chất nền dòng VlB (con dấu C{0}})
1. Con dấu C{1}}
2. Cài đặt không{1}}cố định để đảm bảo hiệu quả bịt kín
3. Phần ướt được xử lý bằng EP
4. Bề mặt hoàn thiện: Max. 5uin.Ra
5. Chất liệu: 316L VIM-VAR
Dòng sản phẩm cốt lõi
- Bộ điều chỉnh áp suất IGS (Dòng VIR)
- Van màng IGS (Dòng VID)
- Van điều khiển lưu lượng IGS (Dòng VIM)
- Van một chiều IGS (Dòng VICV)
- Chất nền & Giá đỡ IGS (Dòng VIB)
- Vòng đệm (Dòng VIG)
Tại sao chọn VIGOR IGS?
Hệ thống của chúng tôi thể hiện sự kết hợp giữa kỹ thuật chính xác và thiết kế thực tế, mang lại:
- Hiệu quả không gian: Kích thước bảng điều khiển giảm đáng kể.
- Độ tinh khiết cực cao: Vật liệu và quy trình được thiết kế riêng cho các ứng dụng cấp chất bán dẫn.
- Tính linh hoạt của mô-đun: Dễ dàng cấu hình, mở rộng và bảo trì.
- Độ tin cậy đã được chứng minh: Thử nghiệm nghiêm ngặt và tuân thủ tiêu chuẩn -SEMI.
Tại VIGOUR, chúng tôi không chỉ cung cấp các thành phần mà còn cung cấp các giải pháp tích hợp giúp biến ý tưởng của bạn thành hiện thực một cách tự tin và chính xác.
