VIGOUR>>Đối tác đáng tin cậy của bạn về Hệ thống phân phối khí tiên tiến
Trong các ngành công nghệ-công nghệ cao, nơi độ chính xác, độ tinh khiết và an toàn là những điều không thể-thỏa thuận, việc cung cấp khí đáng tin cậy là nền tảng. VIGOR thiết kế và sản xuất Hệ thống phân phối khí toàn diện đáp ứng những nhu cầu quan trọng này, hỗ trợ đổi mới và năng suất trong các lĩnh vực nghiên cứu và sản xuất toàn cầu.
Giá đựng gas đặc biệt
Dòng VGR
- Nguồn cung cấp khí số lượng lớn cấp điện tử-an toàn và liên tục.
- Chức năng thông gió và thanh lọc tùy chọn, có giảm áp an toàn.
- Lắp ráp hàn phòng sạch lớp 100.
- Điều khiển PLC tùy chọn với giao diện truyền thông. Hệ thống nền tảng giám sát thông minh có thể truy cập được.
- Báo động áp suất cao / áp suất thấp với tín hiệu âm thanh và hình ảnh, có khả năng tắt khẩn cấp.
- Màn hình cảm ứng hiển thị áp suất xi lanh và các dữ liệu khác.
- Kiểu: Giá kiểm soát khí đặc biệt
- Chất liệu: SS 316L cho van và các bộ phận đường ống
- Khí áp dụng: khí trơ (Ne, Kr, Ar, He, v.v.)
- Phương pháp cung cấp khí: Bình gas
- Nguồn điện: 110~240VAC
- Cấu hình: Xi lanh-đơn, xi lanh-kép
Tủ Gas Chuyên Dụng
Dòng VGC
- Kiểu: Tủ gas chuyên dụng
- Chất liệu: SS 316L cho van và các bộ phận đường ống
- Các loại khí áp dụng: Khí dễ cháy/tự bốc cháy, khí ăn mòn, khí độc (ví dụ: SiH4, HCL)
- Nguồn điện: AC 110~240V
- Vỏ bọc: Thép hàn chống ăn mòn-
- Cửa sổ kính: Tự động-đóng
- Ống xả: Ống xả-gắn trên cùng
- Ứng dụng sản phẩm: Phòng thí nghiệm đại học/nghiên cứu; Sản xuất công nghiệp; Năng lượng mặt trời quang điện; Dược phẩm và Công nghệ sinh học; Sản xuất mạch tích hợp bán dẫn
- Tiêu chuẩn thiết kế: Tuân thủ tiêu chuẩn SEMI S2; Tuân thủ các quy tắc an toàn phòng cháy chữa cháy tòa nhà quốc tế; Áp suất làm việc tối đa: 110% áp suất thử nghiệm bằng chứng


Bộ lắp ráp thanh gas
Dòng VUP
- Thanh gas có độ tinh khiết cực cao dành cho tất cả các hệ thống phân hủy khí
100TG: Nhỏ hơn hoặc bằng 30 slpm phân phối 1/4"VFS
200TG: Nhỏ hơn hoặc bằng 300 slpm phân phối 3/8"VFS
300TG: Nhỏ hơn hoặc bằng 600 slpm phân phối 1/2"VFS
- Sản phẩm được chế tạo tuân thủ quy trình kỹ thuật VS001A
- Độ chính xác điều khiển cao
- Tất cả các kết nối hàn hoặc VFS
- Tùy chọn van màng bằng tay hoặc khí nén
- Đã kiểm tra-rò rỉ-khí Heli 100%
- Áp suất đầu vào P1: 300 psig (20bar)
- Áp suất đầu ra P2: Vac đến 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10bar)
- Vật liệu van màng: thân 316L; Ghế van PCTFE; Màng ngăn Elgiloy®
- Vật liệu điều chỉnh: thân thứ cấp 316L/316L; Ghế van PCTFE; Màng ngăn Hastelloy®
- Tốc độ rò rỉ: (vào khí quyển) 1x10^-9 mbar I/s He;
(qua chỗ ngồi) 1x10^-8 mbar I/s H
Bảng điều khiển áp suất
Dòng VUP-1U
- Bảng điều khiển áp suất (Loại một mặt)
- Bộ điều chỉnh một tầng dòng VSR-100UBS/UCS
- Van màng thông hơi dòng VDV33UBS
- Van màng xử lý đầu vào dòng VDV33UBS
- Các kết nối kín mặt VFS{0}}được hàn theo quỹ đạo
- Thiết kế mô-đun
- Thích hợp cho áp suất đầu vào lên tới 3500 psig (250bar)
- Dễ dàng lắp đặt vào tủ an toàn cho bình gas
- Đã kiểm tra rò rỉ khí Heli 100%
- Áp suất đầu vào P1: tối đa 3500 psig (250bar)
- Áp suất đầu ra P2: Vac đến 10/30/60/100/150 psig(0,7/2/4/7/10 bar)
- Bề mặt hoàn thiện: 10uin. Ra (25uin. Ra tùy chọn)
- Cửa vào và cửa ra: Lắp VFS 1/4"
- Phạm vi nhiệt độ: -40F đến +160℉ (-40 độ đến +71 độ )
- Công suất luồng: Cv=0.09 (Tùy chọn Cv=0.15)

Được thiết kế cho sự xuất sắc và an toàn
Mọi Hệ thống phân phối khí VIGOR đều được phát triển theo cam kết đạt các tiêu chuẩn cao nhất:
- Thiết kế & Tuân thủ:Sản phẩm tuân thủ SEMI S2 và các quy tắc an toàn cháy nổ quốc tế, với các tính năng an toàn như tắt-khẩn cấp và cảnh báo áp suất được tích hợp xuyên suốt.
- Độ tinh khiết sản xuất:Việc lắp ráp và hàn quỹ đạo được tiến hành trong môi trường phòng sạch Cấp 100, sử dụng các vật liệu-có tính toàn vẹn cao như SS 316L và Hastelloy® C276 để đảm bảo độ sạch và tuổi thọ của hệ thống.
- Tính toàn vẹn đã được xác minh:Mỗi thiết bị đều trải qua quá trình kiểm tra rò rỉ khí heli 100% nghiêm ngặt, đảm bảo hiệu suất chống rò rỉ.

